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與傳統(tǒng)設(shè)備相比,CVD系統(tǒng)具有什么特點(diǎn)?

更新時(shí)間:2021-04-07    點(diǎn)擊次數(shù):5876
  CVD系統(tǒng)以進(jìn)口電阻絲瑞典為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和日本島電控溫儀表,能進(jìn)行40段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
 
  適用范圍:
  CVD系統(tǒng)設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、裝飾等領(lǐng)域。

 

  CVD系統(tǒng)使用特點(diǎn)說明:
  1、多晶纖維爐膛,節(jié)能耐腐蝕:重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結(jié)的要求。
  2、高純石英爐管爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工:具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
  3、雙層內(nèi)膽爐殼雙層內(nèi)膽爐殼,配有風(fēng)冷系統(tǒng),快速升降溫:整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
  4、真空法蘭法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù):有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/div>
  5、合金電熱絲內(nèi)嵌式合金電熱絲,升溫快,壽命長:加熱元件采用內(nèi)嵌式合金電熱絲,發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便,使用壽命長。
  6、微電腦PID控制器微電腦PID控制器,操作簡便:操作簡便,控溫、可靠、安全多段可編程控制,可以簡化復(fù)雜的試驗(yàn)過程,真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和運(yùn)行。

 

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