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CVD管式爐系統(tǒng)沉積效率高

更新時間:2024-03-29    點擊次數(shù):5172
  CVD管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理。專門設(shè)計用于高溫材料沉積之用。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想的科研設(shè)備。
 
  系統(tǒng)設(shè)備由沉積溫度控件、沉積反應(yīng)室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據(jù)用戶需要設(shè)計生產(chǎn),CVD系統(tǒng)除了主要應(yīng)用在碳納米材料制備行業(yè)外,現(xiàn)在正在使用在許多行業(yè),包括納米電子學、半導(dǎo)體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域。CVD成長系統(tǒng)是利用氣態(tài)化合物或化合物的混合物在基體受熱面上發(fā)生化學反應(yīng),從而在基體表面上生成不揮發(fā)涂層的一種薄膜材料制備系統(tǒng)。
 

 

  CVD管式爐系統(tǒng)產(chǎn)品的特點有以下幾點:
  1、CVD系統(tǒng)沉積效率高;薄膜的成分可控,配比范圍大;厚度范圍廣,由幾百埃至數(shù)毫米,可以實現(xiàn)厚膜沉積且能大量生產(chǎn);
  2、CVD系統(tǒng)可以制備高質(zhì)量,大面積石墨烯等碳材料,尺寸可達數(shù)厘米,研究動力學過程;
  3、CVD系統(tǒng)兼容、常壓、微正壓多種主流的生長模式;
  4、CVD系統(tǒng)可以在1000Pa-0.1Pa之間任意氣壓下進行石墨烯的生長;
  5、CVD系統(tǒng)使用計算機控制,可以設(shè)置多種生長參數(shù)。
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