產(chǎn)品目錄 / Product catalog
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)在使用上主要有四大優(yōu)點(diǎn)！
更新時間：2020-05-12 點(diǎn)擊次數(shù)：6497
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個7“的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
該系統(tǒng)采用帶背光寬溫點(diǎn)陣型液晶顯示器，所有顯示都是中文,功能多而實用，特別方便使用者操作，減少不必要的麻煩和錯誤。該系統(tǒng)無需預(yù)熱、瞬間啟動的特點(diǎn)使得系統(tǒng)在短短一秒鐘內(nèi)就能開始控制真空鍍膜過程系統(tǒng)的流量，實時測量顯示質(zhì)量流量、體積流量、 壓力和溫度參數(shù)， 并將運(yùn)用溫度與壓力對流量參數(shù)進(jìn)行充分補(bǔ)充。氣體模塊程序直接通過質(zhì)量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過屏蒂按鈕操作切換氣體種類。
該系統(tǒng)的主要優(yōu)點(diǎn)有：
1、地定量控制流量：
該儀器可以有效地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
2、適用范圍寬：
有很寬的工作壓力范圍，我們的系統(tǒng)可以從真空直到10MPa；可以適用于多種氣體介質(zhì)；有很寬的流量范圍，我們的系統(tǒng)小流量范圍可達(dá)0～5sccm，大流量范圍可達(dá)0～200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%，流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為--50:1），因此質(zhì)量流量控制系統(tǒng)在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
3、流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)：
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于質(zhì)量流量控制器則一般可以忽略不計。
4、測量控制的自動化：
該系統(tǒng)可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機(jī)管理等。對質(zhì)量流量控制系統(tǒng)而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA，數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，該系統(tǒng)能非常方便地與計算機(jī)連接，進(jìn)行自動控制。
